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射頻電源常見故障及維修:
故障現象1:打開電源,電源指示燈不亮;
故障現象2:電源燈亮了,預熱燈不亮;
故障現象3:電源燈亮了,預熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率,電源的功率指示和電流指示不正常。正常的功 率指針指到220,電流指示0.4
故障現象4:電源燈亮了,預熱燈亮,輝光不亮;
故障現象5:無功率輸出;
故障現象6:有功率輸出,但是調不大,或是調不到正常值。
故障現象7:無反射功率,或反射功率過大,射頻功率源壞。
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