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氣體傳感器說明半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型(結型、mosfet型、電容型)。電阻型氣敏器件的原理是氣體分子引起敏感材料電阻的變化;非電阻型氣敏器件主要有m()s二極管和結型二極管以及場效應管(m()sfet),它利用了敏感氣體會改變mosfet開啟電壓的原理,其原理結構與isfet離子敏傳感器件相同。
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氣體傳感器種類sno2薄膜氣敏器件因具有-的穩定性、能在較低的溫度下工作、檢驗氣體種類多、工藝成熟等優點,是目前的主 品。此外,fe2o3也是目前廣泛應用和研究的材料。除了傳統的sno、sno2和fe2o3三大類外,目前又研究開發了一批新型材料,包括單一金屬氧化物材料、復合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發,大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。
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氣體傳感器樣式在sno2材料內摻雜是---傳感器選擇性的主要方法,添加pt、pd、ir等-不僅能有效地提高元件的靈敏度和響應時間,而且,催化劑不同,導致不同的吸附傾向,從而---選擇性。例如在sno2氣敏材料中摻雜-pt、pd、au可以提高對ch4的靈敏度,摻雜ir可降低對ch4的靈敏度,摻雜pt、au提高對h2的靈敏度,摻雜pd降低對h2的靈敏度。
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