激光脈沖沉積設備

北京維意真空技術應用有限責任公司為您提供激光脈沖沉積設備。1. 濺射真空室組件1套,球型真空室尺寸ф300mm，選用真空---
304#不銹鋼材料制造氬弧焊接，表面進行噴玻璃丸處理。各法
蘭口按真空系統設計，采用金屬密封。
2. 采用一套600l/s分子泵+4l/s機械泵通過cf150真空閘
板閥進行主抽，通過cf35角閥旁抽。
3. 封接觀察窗2個， ф100石英玻璃窗口1個(248nm紫外波段，
供激光入射用的)
4. 電磁隔斷放氣閥：北京kf40 1臺。
5. 分子泵與機械泵連接金屬波紋管 1套； 機械泵與真空室之間的
旁抽金屬波紋管管路及cf35角閥1套。
6. cf150閘板閥：用于分子泵與真空室隔離。
7. 真空測量及電控系統1套，zdf數顯復合真空計全部采
用金屬規管 1臺 。
8. 總控電源：為機械泵、真空計等提供電源，有斷電斷水缺相保護
功能1套。
9. 機架：---方鋼型材40mm×40mm×3，焊接成，，四只腳
輪，可固定，可移動。
10.附件相關規格的金屬密封銅圈，氟橡膠密封圈全套不銹鋼緊固螺
栓、螺母、墊片等；全套無氧銅密封墊圈相關規格cf16：3
個；cf35：3個；cf150：2個；cf100:4個；
11.相關的技術資料各類外購件使用說明書：設備結構原理圖及關鍵部件結
構圖1套電控系統原理結構圖1套裝箱單1套設備出廠合
格檢驗證明1套
11.工作條件及主要技術參數：供電：～380v三相五線供電系統容量
5kw。相對濕度；≤80﹪。

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