分類原理介紹
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規bourdon和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼pirani電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱極電離規和冷極電離規。
細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象，會帶動杠桿和齒輪旋轉，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量范圍一般在100pa至1atm。
在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01pa至100pa、0.1pa至1000pa等。
這種規的優點是靈敏度---。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用---般需要預熱數小時。
也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的。由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。這種規的測量范圍一般在0.1pa至1000pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規需要在不同的使用氣體下 定。熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1pa至1000pa。熱極電離規中，由熱極即燈絲發射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，由收集極收集產生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。
這種規的測量范圍一般為1.0e-05pa至0.1pa。
經改進后的熱極電離規，bayard-alpert規，可以將測量下限降低至1.0e-09pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規在使用時也需要在不同氣體下進行 定。冷極電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進 壓測量，但與熱極電離規不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。這種規的測量范圍一般為1.0e-07pa至0.1pa。與熱極電離規同樣的原因，這種規在使用時需要在不同氣體下 定。
量程范圍
在較高壓力時(10～1pa)利用壓力差u型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等 。
在10～100pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計
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