東莞市英勝真空機電設備有限公司為您提供流量校準設備。流量校準設備產品概述
原理:層流原理
流量校準范圍:1sccm-5000slpm
該流量校準系統流程:氣瓶-減壓閥-穩壓閥-截止閥-標準流量測量元件molbloc-被校準對象-流量測量主機molbox。
校準對象:流量計、流量控制器、轉子流量計等
校準精度:0.5%,0.2%和0.125%可選
流量校準設備測量元件介紹
型號:molbloc-l&molbloc-s
molbloc 流量元件通過兩個壓力連接件和一根數據線連接到 molbox rfm 上。molbox rfm 從 molbloc eeprom 讀取校準數據,并利用其內置的-參考壓力傳感器 (rpt) 測量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測量系統讀取 molbloc 鉑電阻測溫儀的電阻,然后由此計算 molbloc 溫度。利用存儲在 molbox rfm 內存中的 molbloc 校準數據、壓力、溫度和氣體屬性,可計算出通過 molbloc 的氣流流速。對于 molbloc-l 流量元件,在流量量程 10% fs 以下時,可以選擇微量程選項來提高流量測量分辨度和---度。
特點
· 結構緊湊
· molbloc-l 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm,而 molbloc-s 覆蓋的流量上限更是達到了 5000 slm
· 從 20 種不同的氣體中選擇
· 利用 100:1 可調性實現的測量不確定度 ±0.5% 讀數連接molbox rfm
· 內部閥門,可實現內置的清洗、泄漏測試和自重支持
· 包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等---測量函數
· 完善的前面板控制以及 rs232 和 ieee-488 遠程通信
· 利用可由用戶設置的參考壓力和溫度狀態,測量和體積流量
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