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電源模塊或者電源板：燒壞、短路、無輸出、輸出電壓高于標稱值、輸出電壓低于標稱值、過熱、死機等故障。

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射頻電源設備維修：刻蝕，rie,pecvd,icp,射頻濺射，cvd和pvd等系統，
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