英國牛津 等離子設備 - plaalab 800plus系列產品
plaalab 80plus是我公司專門為大學及研究機構設計的小型化產品，被廣泛的應用于各種產品的研發以及小批量。它配置了直接開啟式工藝平臺，可以根據客戶需要將它配置成rie反應離子刻蝕、pe等離子刻蝕、pecvd等離子增強型化學氣相沉積或icp感應耦合等離子高密度刻蝕等模式，應用非常靈活。
plaalab 800plus系列 - pecvd等離子增強型化學氣相沉積配置產品介紹
典型應用：
pecvd等離子增強型化學氣相沉積配置主要配置：
pecvd等離子增強型化學氣相沉積配置選配件：
1 儀器檢測 自動檢測 2 波長準確度 2nm 3 穩 定 度 ±0.002a/hr 4 吸光度范圍 0.000-3.000abs 5 樣 品 池 10×10mm 準樣品池 6 光源 led特制發光二極管 7 顯示模式 液晶顯示 8 儲 存 器 儲存240個檢測數據 9 接 口 rs-232接口 10 電源要求 1.5x4aa堿性充電電池或鎳氫電池，dc 6v1a適配器 11 外觀尺寸 110×245×48mm 12 重 量 500g
1 檢出限 0.1mg/kg 2 檢出范圍 0-50g/100g 3 準確度 90%
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