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型號:jx1149 | 型號:jx1156多功能等離子處理系統(tǒng)optiglow ace |
3、清鎮(zhèn)jx1149多功能等離子處理系統(tǒng)optiglow acejx1156-內(nèi)容
型號:jx1149
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應(yīng)用領(lǐng)域:
生物芯片領(lǐng)域
材料、光學(xué)材料研究
電子半導(dǎo)體領(lǐng)域
高分子材料研究
電化學(xué)、---零部件處理
有機材料的灰化、刻蝕
儀器性能:
自動調(diào)頻高頻發(fā)生器
內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機物質(zhì)碳氫化合物,氬對樣品表面進行刻蝕
低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts rf)
真空監(jiān)測.
雙重氣流針閥控制
---時間定時
微處理器程序設(shè)置
lcd狀態(tài)數(shù)字顯示
腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),樣本操作方便
聚碳酸脂安全防護
欄目頁面:表面處理儀
來源網(wǎng)址:型號:jx1156多功能等離子處理系統(tǒng)optiglow ace
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全自動多功能等離子表面處理系統(tǒng)應(yīng)用于小型及研發(fā)實驗室的使用和發(fā)展歷史已經(jīng)超過了20年,隨著研發(fā)提升及軟硬件更新,現(xiàn)在的系統(tǒng)不但擁有使用的高穩(wěn)定性和---率外,其集成化設(shè)計和友好操作界面使得用戶上手操作及參數(shù)調(diào)整都非常簡易。
射頻等離子體是廣泛使用和通用性好的等離子體技術(shù),它應(yīng)用于-和半導(dǎo)體的寬廣領(lǐng)域內(nèi)。在通用工業(yè)/-行業(yè),需要清潔、涂覆或化學(xué)改性的材料表面被浸入到射頻等離子體的能量環(huán)境中,除了射頻等離子體的-的化學(xué)作用外,其定向效應(yīng)也起到了一個重要的作用。攜帶動量的粒子到達材料表面后可以物理地去除化學(xué)惰性的表面沉淀物如金屬氧化物和其它無機物沉淀以及交聯(lián)聚合物以鎖定等離子體的處理。
optiglow ace 是-設(shè)計用于等離子體處理包括灰化,清洗,表面活化,改性和刻蝕,具有功能性多、易操作性強、無需調(diào)試、-性高、低成本的優(yōu)點,廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造,微電子微納加工,生命科學(xué)器件制造和前處理等。ace適合多種工藝氣體,如ar、o2、空氣及化合物氣體如cf4,通過2個氣體流量控制氣體 準(zhǔn)和提高系統(tǒng)控制性能。除了結(jié)構(gòu)緊湊和集成度高外,-的射頻rf激發(fā)等離子體(13.56mhz,10-150w)配合-的工藝控制、失效保護 系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件使其很容易安裝在實驗室或環(huán)境中。
optiglow 75 (100khz,75w)是理想的用于等離子表面改性,表面活化胺化團,光刻膠剝離和清洗,在涂層鍍膜, 沉積繪圖和覆膜前增加基底鍵合強度,粘性和濕性。
欄目頁面:表面處理儀來源網(wǎng)址:多功能等離子處理系統(tǒng)optiglow ace
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