河北美州保溫建材集團有限公司為您提供工業型原子力顯微鏡。工業型原子力顯微鏡
◆ 實現樣品保持不動,探針移動掃描的原子力顯微鏡;
◆ 采用閉環三軸獨立壓電平移式掃描器,大范圍---掃描;
◆ 樣品尺寸、重量基本不受---,---適合集成電路晶圓等---樣品檢測;
◆ 龍門架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附式載物臺;
◆ ---行程二維電動樣品移動臺,快速選擇感興趣的樣品區域;
◆ 高倍光學定位系統,實現探針
工業型原子力顯微鏡技術參數
◆ 基本工作模式:接觸、輕敲、f-z力曲線測量、rms-z曲線測量、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式:profile線快速測量模式
◆ 樣品尺寸:φ***300mm,h***50mm
◆ 閉環掃描范圍:xy向100um,z向10um
◆ 閉環掃描分辨率:xy向0.2nm,z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍:300mm×300mm
◆ 輔助光學定位:10x物鏡,光學分辨率1um可選配20x,光學分辨率0.8um
◆ 氣動式減震臺,減震頻率0.5hz
◆ 噪音水平:<0.1nm
工業型原子力顯微鏡詳情:
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