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干式螺桿真空泵研究現狀與展望(1)
目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大, 真空獲得產品已經出現無新換代的局面, 大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵, 是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、---、能耗低、無油污染等優點, 但其制造技術為國外掌握, 我國尚處于起步階段,市場對于干式真空泵有迫切的需求。
1、研究現狀
干式螺桿真空泵由于其---的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。螺桿泵的技術關鍵問題。
1轉子端面型線
螺桿真空泵主要部件是一對旋向相反的螺距螺桿，電機的傳動軸連接主動轉子，通過一對---的同步齒輪帶動從動螺桿，兩螺桿間留有間隙，通過兩轉子的嚙合達到抽氣的目的(如圖1)。
圖1 兩轉子傳動示意圖
---是螺桿齒形，不同的齒形直接決著泵的---真空、抽氣速率、容積效率、振動和噪聲等技術性能指標的差異。目前螺桿真空泵的端面型線主要分為兩種，單頭轉子型線和多頭轉子型線。如圖2、3所示。
圖2 單頭轉子端面型線 圖3 多頭轉子端面型線
源于螺桿壓縮機的多頭轉子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機的轉子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6頭螺桿轉子型線用在真空泵上，lg公司的真空泵目前也使用多頭轉子型線，由于兩嚙合轉子接觸線的頂點不能達到陰、陽轉子氣缸孔的交線，在接觸線頂點和機殼的轉子氣缸孔之間，會形成一個空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低
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