又稱輝光滲氮，是利用輝光放電原理進(jìn)行的。把金屬工件作為陰極放入通有含氮介質(zhì)的負(fù)壓容器中，通電后介質(zhì)中的氮?dú)湓颖浑婋x，在陰陽極之間形成等離子區(qū)。在等離子區(qū)強(qiáng)電場(chǎng)作用下，氮和氫的正離子以高速向工件表面轟擊。離子的高動(dòng)能轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮埽訜峁ぜ砻嬷了铚囟取Ｓ捎陔x子的轟擊，工件表面產(chǎn)生原子濺射，因而得到凈化，同時(shí)由于吸附和擴(kuò)散作用，氮遂滲入工件表面。
氣體滲碳是將工件裝入密閉的滲碳爐內(nèi)，通入氣體滲劑或液體滲劑---或---、酒精、，在高溫下分解出活性碳原子，滲入工件表面，以獲得高碳表面層的一種滲碳操作工藝。
固體滲碳是將工件和固體滲碳劑木炭加促進(jìn)劑組成一起裝在密閉的滲碳箱中，鏈板淬火，將箱放入加熱爐中加熱到滲碳溫度，鏈條淬火，并保溫一定時(shí)間，使活性碳原子滲人工件表面的一種早的滲碳方法。
液體滲碳是利用液體介質(zhì)進(jìn)行滲碳，常用的液體滲碳介質(zhì)有：碳化硅，“603”滲碳劑等。
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