廣州潽拓光電科技有限公司--愛發科分子泵維修維修;
arpes光束線客戶案例:某光源arpes光束線真空系統,真空系統是同步輻射光束線的重要組成部分,只有在真空環境中運行,愛發科分子泵維修固件升級,光學元件才能夠將同步輻射光傳輸到試驗站,真空系統的作用就是獲得并維持合理的真空度,---光束線的穩定運行.此系統搭配愛發科分子泵80,及配套真空規.
真空系統要求(分子泵):
1.靜態真空(無束流):5x10-8pa,動態真空(有束流):
2.真空系統基本配置:離子泵+無油分子泵+冷陰極真空規管+氣體分析儀真空系統配置:
渦輪分子泵
接口:dn100cf-f
---真空:氮氣壓縮比:>;1x1011渦輪分子泵80
接口:dn63cf-f
---真空:氮氣壓縮比:>;1x1011殘余氣體分析儀prismapro
數:1-300amu
四極桿直徑/長度:6/125mm
很大工作壓力fhpa:5x10-4
渦輪分子泵抽速范圍10至2700l/s,轉速---90,000rpm,---真空很大1e-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100,000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用,搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>;>;
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分子束外延mbe是一種晶體生長技術,首先將待成長的芯片放置在真空腔體中~10-10torr,和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中,當爐溫升至一定溫度時,爐中的材料會以原子束或分子束的形式蒸發出來,此時基板也被加熱至一適當的溫度,分子束射至基板時,就會與基板表面的原子結合而生長出極薄的,可薄至單原子層水平,愛發科分子泵維修養護,單晶體和幾種物質交替的超晶格結構.
描隧道顯微鏡stm是根據力學中的隧道效應原理,通過探測固體表面原子中電子的隧道電流來分辨固體表面形貌的新型顯微裝置.用客戶案例:某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統,經過愛發科,愛發科分子泵維修改造升級,采用分子泵和渦輪分子泵80并搭配美國hva真空閘閥成功分析生長晶體表面結構。
渦輪分子泵抽速范圍10至2700l/s,轉速---90,000rpm,---真空很大1e-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實踐證明渦輪分子泵運行時間可以達到100,000小時!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用,搭配旋片泵和干泵共同使用.
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分子泵入口應裝設防護網,以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。抽氣系統裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統的操作方法與擴散泵抽氣系統相似。在開始粗抽以前,高真空閥和粗抽閥是關著的,而前級管道閥是打開的。首先關閉前級閥,啟動粗抽泵兼前級泵,打開粗抽閥開始對真空室進行抽氣。在真空室內的壓力降到150~100pa時關閉粗抽閥,打開前級管道閥,再啟動渦輪分子泵需先接通冷卻系統。
如果分子泵入口處裝有液氮冷阱,則應在泵加速到額定轉速后一般需5~10min加注液氮。1-渦輪分子泵;2-液氮冷阱;3-放氣閥;4-電離規;5-熱傳導規;6-粗抽閥;7-機械泵;8-前級管路閥;9-高真空閥。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統粗抽系統的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對500l/s或更小的渦輪分子泵來說,可采用一臺雙級旋片泵;1000l/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。
在壓力為100到150pa時關閉粗抽閥,把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵,這樣做會引起輕微而滯后的瞬時減速,但這對抽氣并無影響。正如擴散泵抽氣系統那樣,揭陽愛發科分子泵維修,渦輪分子泵系統中的很主要的物質是水蒸氣,其臭氣時間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱,那么這個系統抽除水蒸氣的速度就會比同樣抽速的無冷阱擴散泵略慢一些。
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