工藝流程為含塵氣體首-入實心噴霧洗滌室，煙氣經堿性溶液冷卻降溫達到飽和狀態，大顆粒粉塵及首先被吸收，河北脫硫塔，繼而煙氣、水霧、粉塵三相氣流由于的差異、以不同的慣性互相傳質并同時進入凝聚霧化洗滌室進行收縮、急聚、擴散等運動作用后第二次被脫硫與除塵，隨后煙氣、水霧。粉塵三相氣流以一定速度沖擊裝有堿性溶液的循環流化過濾室通過充分沖出、湍流、攪拌、過濾、傳質等運動機理后第三次被脫硫與除塵，此時比較潔凈的煙氣一切向或蝸殼走向進入上穩旋流逆傳質洗滌室通過由上往下的堿性液膜與液霧產生逆向傳質運動后一次脫硫除塵，凈化后的潔凈通過切向或蝸殼走向進入下穩旋流脫水除霧室進水分離處理后，由引風機送到煙囪排向高空。而灰水則分別從實心噴霧洗滌室、循環流化過濾室、上穩旋流逆傳質洗滌室底部的自動溢流水封出灰口排向循環池經堿性水中和沉淀處理、堿性廢水回收供脫硫除塵器使用，潔凈誰從下穩旋流脫水除霧室底部的排水口流出，鍋爐脫硫塔，同時完成了消煙、脫硫、脫氮、除塵、脫水、除霧的全過程。
采用高含塵工藝時，scr反應器布置在省煤器和空氣預熱器(空預器)之間。其優點是煙氣溫度高，滿足了催化劑活性要求;缺點是煙氣中的飛灰含量高，對催化劑的防磨損和防堵塞的性能要求較高。
對于低含塵工藝，scr布置在煙氣脫硫系統(fgd)之后、煙囪之前。此時雖然煙氣中的飛灰含量大幅減少，但為了滿足催化劑活性對反應溫度的要求，除塵脫硫塔，需要安裝蒸汽加熱器和煙氣換熱器(ggh)，系統復雜，投資增加，故一般選擇高含塵工藝。
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