1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源，利用風機對加熱對流換氣的方式加熱空氣，通過熱空氣與物料的熱量傳遞，空氣通過進風口不斷補充，濕空氣排出箱外，使爐內的溫度不斷提高，工件逐漸預熱。
2、固化爐開機前準備
崗位操作人員開機前首先必須熟悉本機的結構性能、工作原理、調整方法、操作方法及保養(yǎng)知識。
檢查設備的狀態(tài)標志及衛(wèi)生清潔狀況。
檢查電器系統(tǒng)是否完好，電動機是有無受潮漏電。
3、固化爐操作過程
首先將臺車及爐內部清洗干凈。
打開供電設備電源開關、打開設備“電源開關”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
打開爐門，將工件及物料放上臺車推入烘爐內，關閉爐門。
設定烘爐溫度，并打開烘爐“風機”及“升溫”按鈕。
達到固化時間打開爐門，將臺車推出爐門，取出固化后的物料。
當工作結束時，分別關閉“升溫”和“風機”按鈕，使加熱系統(tǒng)、鼓風系統(tǒng)停止工作。
后關閉“電源開關”旋鈕，合上總閘，打開爐門，取出已烘干的物料，工作程序結束
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的�？梢约訜峋該诫s劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結構，采用纖維結構，節(jié)電60%。
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