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于1924年，奧地利物理學家沃爾夫岡·泡利用一組參數來解釋原子的殼層結構。這一組的四個參數，決定了電子的態。每一個態只能容許一個電子占有。這禁止多于一個電子占有同樣的態的規則，稱為泡利不相容原理。這一組參數的個參數分別為主數
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旋片式真空泵具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空泵碳精片，真空冷凍干燥機等。
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國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，真空泵潤滑油，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，---提高了產品的性能和。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。---壓力從10pa～10-2pa，抽速從20m3/h～500m3/h。
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