aro氣動隔膜泵在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用
半導(dǎo)體產(chǎn)品的工藝流程主要包括晶圓制造和封裝測試，加工工序多，所需材料復(fù)雜。晶圓生產(chǎn)線可以分為擴(kuò)散、光刻、濕法蝕刻、離子注入等多個(gè)獨(dú)立的生產(chǎn)區(qū)域；封裝測試工藝可分為背面減薄、晶圓切割、貼片等步驟。硅晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，它是硅元素加以純化，經(jīng)過一系列程序?qū)⒍嗑Ч枥鰡尉Ч璋簦K氣動柱塞泵，然后切割、打磨、拋光得到晶圓片。
在此硅晶圓制備環(huán)節(jié)中，英格索蘭氣動隔膜泵隔主要用于晶圓片的打磨、拋光和清洗液的收集，考慮溶液化學(xué)特性，主要使用聚材質(zhì)的英格索蘭隔膜泵。而在半導(dǎo)體的工藝段中，氣動柱塞泵，aro隔膜泵主要應(yīng)用于濕法蝕刻環(huán)節(jié)和封裝測試環(huán)節(jié)，接下來我們主要介紹濕法刻蝕環(huán)節(jié)和封裝測試的具體操作及應(yīng)用。
濕法刻蝕就是將晶片置于液態(tài)的化學(xué)腐蝕液中進(jìn)行腐蝕，在腐蝕過程中，腐蝕液將把它所接觸的材料通過化學(xué)反應(yīng)逐步浸蝕溶掉。用于化學(xué)腐蝕的試劑很多，有酸性腐蝕劑，堿性腐蝕劑以及有機(jī)腐蝕劑等。根據(jù)所選擇的腐蝕劑，又可分為各向同性腐蝕和各向---腐蝕劑。各向同性腐蝕的試劑很多，包括各種鹽類(如cn基、nh 基等)和酸，但是由于受到能否獲得高純試劑，氣動柱塞泵生產(chǎn)廠家，以及希望避免金屬離子的玷污這兩個(gè)因素的---，因此廣泛采用hf—hno3腐蝕系統(tǒng)。英格索蘭隔膜泵在濕法蝕刻環(huán)節(jié)中主要用于卸料和中間段的輸送，輸送hf、koh 等酸堿液。
軸向氣動柱塞泵一般用于機(jī)床、冶金、鍛壓、礦山及起重機(jī)械的液壓傳動系統(tǒng)中，小型氣動柱塞泵，---廣泛地應(yīng)用于大功率的液壓傳動系統(tǒng)中。rexroth葉片泵一般主要用在礦業(yè)，煤炭，冶金，化工，等行業(yè)。一般意義的砂泵更多是指用在，挖沙，河道清淤等行業(yè)較多。這個(gè)系列砂泵主要以es或者g系列的較多。除此之外，叫做砂泵的類型還有很多，石油領(lǐng)域的sb砂泵，礦業(yè)上的ps砂泵系列等等。本文介紹的砂泵主要以通常---的es或g系列的挖沙，行業(yè)的用的砂泵。rexroth齒輪泵適用于輸送石油、化工、涂料、染料、食品、油脂、等行業(yè)中的牛頓液體或非牛頓液體，輸送液體的種類可由輕質(zhì)、揮發(fā)性液體，直至重質(zhì)、粘稠，甚至半固態(tài)液體。
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