凈化工程——無塵車間
所謂的無塵車間是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求,鋁蜂窩夾芯板,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術的興起,寧波夾芯板,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或---度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
凈化工程風量、換氣次數、靜壓差
在潔凈室體積確定的情況下,夾芯板廠房,換氣次數由該室的送風量決定,而靜壓差取決于房間的送風量與回風量、排風量的差值。系統總送風量、新風量、總排風量和對外壓差可以通過調整風機頻率轉速或總閥門開啟度來實現,各房間的風量和壓力則可通過調整分支管路閥門開度來實現。
實際檢測過程中發現,在通過調節支管風閥對某間換氣次數不合格潔凈室進行送風量調節時,往往會使同一潔凈區其余的潔凈室送風量改變,即打亂了整個潔凈區的風量分配,從而使問題變得更為復雜。另外還常遇到換氣次數合格而壓差不合格,這種情形在二更常見。主要原因在于護圍結構氣密性較差和回風口柵格不易調節。
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