潔凈凈化室的分類(lèi)
一、亂流式
即空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(hepa)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1，000-100，000級(jí)。其優(yōu)點(diǎn)是：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。
二、層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為class1-100。其型式可分為二種：
1、水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，而且塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在-側(cè)污染較-。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
2、垂直層流式：房間-完全以u(píng)lpa過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛粫�(huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
三、復(fù)合式(
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
凈化室主要參數(shù)控制
主要參數(shù)控制。
一般空調(diào)側(cè)重溫度、濕度、新鮮空氣量和噪聲的控制，而凈化車(chē)間的凈化空調(diào)則側(cè)重控制室內(nèi)空氣的含塵量、風(fēng)速、換氣次數(shù)。在溫、濕度有要求的房間，溫、濕度也是主要控制參數(shù)。對(duì)生物潔凈室而言，菌含量是主要的控制參數(shù)之一。
2、空氣過(guò)濾手段。一般空調(diào)有的只有粗效一級(jí)過(guò)濾，要求較高的是粗效中效兩級(jí)過(guò)濾處理。而凈化空調(diào)則要求三級(jí)過(guò)濾，即粗、中、三級(jí)過(guò)濾，或粗、中、亞三級(jí)過(guò)濾，凈化車(chē)間除送風(fēng)系統(tǒng)有三級(jí)過(guò)濾外，為了消除動(dòng)物的特殊臭味及避免對(duì)環(huán)境的污染，在排風(fēng)系統(tǒng)依據(jù)不同情況尚設(shè)二級(jí)過(guò)濾或?yàn)V毒吸附過(guò)濾。
3、室內(nèi)壓力要求。一般空調(diào)對(duì)室內(nèi)的壓力要求不嚴(yán)。而凈化空調(diào)為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產(chǎn)車(chē)間不同物質(zhì)的相互影響，對(duì)不同潔凈區(qū)的正壓值均有不同的要求。在負(fù)壓潔凈室內(nèi)尚有負(fù)壓度的控制要求。
4、為了避免被外界污染，凈化空調(diào)系統(tǒng)材料和設(shè)備的選擇、加工工藝、加工安裝環(huán)境、設(shè)備部件儲(chǔ)存環(huán)境等，均有特殊的要求。這區(qū)別于一般空調(diào)系統(tǒng)。
5、對(duì)氣密性的要求。一般空調(diào)系統(tǒng)，對(duì)系統(tǒng)的氣密性、滲氣量雖有要求，但凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求要比一般空調(diào)系統(tǒng)高得多，其檢測(cè)手段、各工序的標(biāo)準(zhǔn)均有嚴(yán)格措施及測(cè)試要求。
干凈空間的溫濕度首先是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但正在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的溫馨度感。跟著空氣干凈度要求的進(jìn)步，呈現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。詳細(xì)工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但做為總的本則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度顛簸范疇的要求越來(lái)越小。
技術(shù)要求：凈化車(chē)間技術(shù)對(duì)我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因?yàn)樗c產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。
例如正在-集成電路消費(fèi)的光刻-工藝中，做為掩膜板質(zhì)料的玻璃取硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。曲徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了線(xiàn)性膨脹，所以必需有±度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)賣(mài)得貨將有污染，出格是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，那種車(chē)間溫度不宜-25度，濕渡過(guò)高發(fā)生的問(wèn)題更多。效率也大大提升，人工完成一個(gè)-頭的生產(chǎn)需秒，如今用自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)只需秒—秒，效率提升達(dá)%—%，并且有進(jìn)一步提升空間。
相對(duì)濕度-55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作正在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)引起各類(lèi)事故。相對(duì)濕度正在50%時(shí)易生銹。
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