等離子體氣相合成法是制備納米粉體的主要方法之一。低溫等離子體法中微粒形成是化學反應和成核生長的結果，其原理與高溫熱解反應、激光---反應的熱化學反應過程類似。高溫等離子體法中微粒的形成是反應氣體等離子化后冷卻和凝聚的結果。等離子體氣相合成法又分為直流電弧等離子體法dc法、高頻等離子體法rf法和復合等離子體法。
物質的微粉化機理大致分為兩類：一類是將大塊物質極細分割尺寸降低的方法，物質無變化，有機械粉碎法、燒結法、溶出法化學處理等；另一類是將單位分子或原子組合構筑過程的方法，納米粉制備設備廠家，物質發生變化，熱分解法、固相反應法等。液相法是目前實驗室和工業上廣泛采用的制備納米粉體的一種方法。依據化學手段，在不需要復雜儀器的前提下，納米粉制備設備多少錢，通過簡單的溶液過程即可制備出納米粉體。
cvd法制備納米粒子時，可控的工藝參數多，比如濃度、流速、溫度、組成和配比等。因此可以通過控制工藝參數實現納米粒子組成、形貌、尺寸和晶相等的主動控制。在氣相狀態下，微粒成核和生長空間大，納米粉制備設備，使制備的納米粒子粒徑分布窄，單分散度好，形貌均一。反應氣體分子對特定波長激光束的吸收，使反應氣體分子產生熱解或化學反應，發生核的形成和生長過程，從而制備納米粒子。
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