真空泵抽氣量不足的原因及解決方法是什么？
看看進(jìn)氣口和排氣口是否接錯(cuò)了，三相泵的話看看是不是電機(jī)反轉(zhuǎn)了。如果真空泵電機(jī)還是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因還是有所區(qū)別的，不能一概而論。
真空泵抽氣量不足的故障原因：
泵的轉(zhuǎn)速低于規(guī)定轉(zhuǎn)速。
葉輪與端蓋的間隙過(guò)大。
填料室密封漏氣。
吸入管道漏氣。
供水不組。
水環(huán)溫度過(guò)高。
化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (cvd) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用---之一來(lái)選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：
粉末
許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能---粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以---泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。
冷凝
半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔唷Ｔ诒盟瓦@些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來(lái) 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要---可以 將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對(duì)于某些 cvd 制程，愛(ài)德華真空泵e2m80，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以---避免任何冷凝問(wèn)題， 同時(shí)不使腐蝕速度過(guò)高。
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