靶中毒現象
(1)正離子堆積：靶中毒時，靶面形成一層絕緣膜，正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋，不能直接進入陰極靶面，而是堆積在靶面上，容易產生冷場致弧光放電---打弧，使陰極濺射無法進行下去。2陽極消失：靶中毒時，接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜，到達陽極的電子無法進入陽極，形成陽極消失現象。
靶中毒的物理解釋
1一般情況下，金屬化合物的二次電子發射系數比金屬的高，靶中毒后，靶材表面都是金屬化合物，在受到離子轟擊之后，釋放的二次電子數量增加，提高了空間的導通能力，降低了等離子體阻抗，導致濺射電壓降低。從而降低了濺射速率。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400v-600v之間，當發生靶中毒時，濺射電壓會---降低。2金屬靶材與化合物靶材本來濺射速率就不一樣，一般情況下金屬的濺射系數要比化合物的濺射系數高，所以靶中毒后濺射速率低。3反應濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低，所以反應氣體比例增加后，綜合濺射速率降低。
靶中毒的解決辦法
1采用中頻電源或射頻電源。2采用閉環控制反應氣體的通入量。3采用孿生靶4控制鍍膜模式的變換：在鍍膜前，采集靶中毒的遲滯效應曲線，使進氣流量控制在產生靶中毒的，---工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。
真空電鍍有什么特性：
a、真空鍍膜、pvd、東莞真空電鍍特性
金屬外觀/顏色均勻一致/耐久的表面，在各種基本的的空氣和直射陽光環境條件保持---外觀。顏色深韻、光亮/經濟，可減少清洗和擦亮顏色所必須的時間和成本 對環境無害，電鍍加工避免化學中毒/具生物兼容性。
b、鍍膜特性
---的附著力–可以折彎90度以上不發生裂化或者剝落pvd鍍膜持有---附著力和耐久力。其它的技術，包括電鍍，噴涂都不能與其相比。可以蝕刻出任何能夠---出的設計圖案/可以使用在內裝修或者室外 ，抗腐蝕。
c、pvd膜層抵抗力
耐腐蝕，化學性能穩定/抗酸/在常規環境下，塑料真空電鍍，戶內或者戶外，都，塑料真空電鍍廠家，---，不失去光澤并不留下痕跡/正常的使用情況下不會破損。---/容易清除油漆和筆跡 在---的陽光，咸的濕地和城市環境下，都不失去光澤，不氧化，---，不脫落和爆裂膜層顏色種類繁多，表面細膩光滑，富有金屬光澤。
d、
真空電鍍高真空離子鍍膜技術——對人體和生態環境真正無害。
真空電鍍的應用領域
真空電鍍技術在裝飾品方面的應用：隨著經濟的發展和生活水平的提高，人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內外裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
真空電鍍技術在平板顯示器中的應用：真空電鍍所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜，塑料真空電鍍廠，而且幾乎所有類型的平板顯示器件都需要使用ito膜，塑料真空電鍍工藝，真空電鍍以滿足透明電器的要求。可以毫不---的說：沒有薄膜技術就沒有平板顯示器件。
真空電鍍技術在太陽能利用方面的應用：當需要有效地利用太陽熱能時，真空電鍍就要考慮采用對太陽光線吸收較多、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20?m之間的紅外波段。真空電鍍理想的選擇吸收面是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(α)為1，真空電鍍在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(ε)為0。
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