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真空泵的使用范圍
由于各種真空泵所具有的工作壓強范圍及起動壓強均有所不同，因此在選用真空泵時必須滿足這些要求。表3-1給出了各種常用真空泵的工作壓強范圍及泵的起動壓強值，以供參用。
表3-1 常用真空泵的工作壓強范圍及起動壓強
真空泵種類 工作壓強范圍pa 起動壓強pa
活塞式真空泵 1×100000～1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水環式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
羅茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
渦輪分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸氣噴射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油擴散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×0.01 <1.3×100000
分子篩吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
濺射離子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
鈦升華泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
---鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，真空泵機組，需要知道氣體成分，真空泵機組供應商，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
⑶真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
真空泵的發展
真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，真空泵機---型，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國-各行業應用真空工藝過程中的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。
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