常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等,這些泵是我國-各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中的主力泵種。近年來, 伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭,同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下,我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。
在連接管路中,用戶可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計,---可檢查真空泵的---壓力。按電動機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。真空泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時,須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防真空泵反轉(zhuǎn)噴油。轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向?qū)τ谟欣鋮s水的真空泵,按規(guī)定接通冷卻水。如真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應(yīng)同時動作。當(dāng)真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,---提高了產(chǎn)品的性能和。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。---壓力從10pa~10-2pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
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