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萊寶機械分子泵 leybold tw 70 ls維修保養
leybold萊寶tw70ls真空分子泵維修,德國leybold分子泵油,oerlikon w70ls渦輪分子泵的進氣法蘭口dn63,德國leybold分子泵控制器,
抽速可達到66 l/s 轉速為72000rpm, leyboldtw70ls是在tw70基礎上改進而成,
專門用于leybold -質譜檢漏儀。
leybold萊寶tw70ls分子泵維修產品屬性:型號:tw70ls
泵材質:不銹鋼
驅動方式:電動
流量:70
性能:變頻
泵軸位置:邊立式
葉輪結構:封閉式
葉輪吸入方式:單吸式
葉輪數目:多級
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萊寶leybold turbovac mag w 3200渦輪分子泵
turbovac mag w 3200 c/ct常用于半導體工業使用的渦輪分子泵。在半導體工業,渦輪分子泵用于以下應用場合:- 蝕刻;- 濺射;- 離子注入;- cvd;- 光刻。這些應用中,經常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設備的磁懸浮分子泵,以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻,德國leybold分子泵,渦輪分子泵的泵內可能發生沉積現象, 選用帶溫度控制的擴展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比,磁懸浮泵的優勢在于氣體流量較大時可以防止軸承過熱,能夠有效地防止腐蝕性介質對磁懸浮軸承的損壞。
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