調節滑閥泵分離器中的壓力
假如在處理水蒸氣時，滑閥泵作業在65℃，則安裝在滑閥泵排氣管道上的;真空;溢流閥要設定在15 000～20 000 pa，即低于水在65℃下的飽滿蒸汽壓。
油泵壓力
油泵在;真空;狀態下要可以正常運行，油壓有-保持在0.2～0.4 mpa，真空鍍膜系統，連續供油。
抽除水蒸氣的試驗
二、蒸汽處理裝置長處
1、能處理很多可凝性氣體或揮發性氣體。
2、被抽蒸汽不會在泵中被冷凝，削減了對金屬表面的腐蝕。
3、避免了油的污染，換油次數大大削減，運行成本明顯下降。
4、消除了因為油被污染所形成的功能下降現象。
5、在濕式工藝中能維持低的作業壓力。
單級旋片真空泵系統是理想的高真空獲得設備，用于抽除普通空氣或惰性氣體和少量可凝性蒸汽。真空系統是由真空泵、plc程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、-過濾總成等組成的成套真空系統。
油式單級旋片真空泵工作原理：
轉子在圓形的缸體內通過電機聯節驅動旋轉，轉子軸線偏離缸體中心線，因此轉子與缸體內壁形成線性接觸，烤箱高真空系統，葉片沿著轉子的滑槽滑動，將缸體和轉子之間隔成多個工作腔，當工作腔和進氣口相連時，吸入氣體，珠海真空系統，隨著轉子的旋轉，被吸入的氣體被壓縮，進而排除到油氣分離器內。恒定的壓力差使真空泵潤滑油進入壓縮腔。潤滑油和被抽氣體一起進入油氣分離器，通過重力作用和油氣濾網及排氣過濾器網的作用下使得油、氣分離，潤滑油回落到油箱底部，再次循環，不含油的氣體通過排氣口排向-。
油式旋片真空泵主要優點：
1.易于安裝及保養
2.油鏡視窗大，便于確認油污染狀況
3.直接驅動，免皮帶.齒輪松弛或損耗
4.高抽速，真空度穩定，噪音小，震動低
5.空氣冷卻，散熱效果好，螺栓固定泵浦
6.內置油霧分離器，有效避免油氣制程污染，電廠真空系統，潔凈環境
7.泵帶氣鎮閥裝置，可過濾一定量水蒸氣與可凝性氣體，-
8.進氣口裝有逆止閥，當泵停止時，逆止閥能有效避免油氣逆流
用途：
主要應用于真空鍍膜、微電子、光電半導體、太陽能、冶煉、封裝測試、真空含浸、等離子清洗等行業。
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