精密工程測(cè)量技術(shù)包括精密地直線定線、測(cè)量角度或方向、測(cè)量距離、測(cè)量高差以及設(shè)置穩(wěn)定的精密測(cè)量標(biāo)志。從測(cè)量方案設(shè)計(jì)、實(shí)地施測(cè)到成果處理和利用的各個(gè)階段中都要利用誤差理論進(jìn)行分析。為減小測(cè)量不確定度，應(yīng)盡可能遵守以下基本測(cè)量原則：鏈原則，在間接測(cè)量中，與被測(cè)量具有函數(shù)關(guān)系的其它量與被測(cè)量形成測(cè)量鏈。形成測(cè)量鏈的環(huán)節(jié)越多，攝影測(cè)量服務(wù)，被測(cè)量的不確定度越大。因此，應(yīng)盡可能減少測(cè)量鏈的環(huán)節(jié)數(shù)，以---測(cè)量精度，稱之為鏈原則。當(dāng)然，按此原則好不采用間接測(cè)量，而采用直接測(cè)量。所以，只有在不可能采用直接測(cè)量，或直接測(cè)量的精度不能---時(shí)，才采用間接測(cè)量。應(yīng)該以少數(shù)目的量塊組成所需尺寸的量塊組，就是鏈原則的一種實(shí)際應(yīng)用。測(cè)量方法：接觸測(cè)量和非接觸測(cè)量：測(cè)量器具的測(cè)頭與被測(cè)件表面接觸并有機(jī)械作用的測(cè)力存在的測(cè)量為接觸測(cè)量。如用光切法顯微鏡測(cè)量表面粗糙度即屬于非接觸測(cè)量。
在精密工程測(cè)量工作中，要求標(biāo)志與設(shè)備或設(shè)備基礎(chǔ)的、牢固地連接。一項(xiàng)工程要有若干個(gè)位置非常穩(wěn)定的平面和高程基準(zhǔn)點(diǎn)，還是用基巖標(biāo)志作為基準(zhǔn)點(diǎn)；在軟土地區(qū)可用深埋鋼管標(biāo)志作為高程基準(zhǔn)點(diǎn)，用倒錘作為平面基準(zhǔn)點(diǎn)。由于測(cè)量過(guò)程的不完善而產(chǎn)生的測(cè)量誤差，將導(dǎo)致測(cè)得值的分散入不確定。因此，在測(cè)量過(guò)程中，正確分析測(cè)量誤差的性質(zhì)及其產(chǎn)生的原因，對(duì)測(cè)得值進(jìn)行---的數(shù)據(jù)處理，獲得滿足一定要求的置信水平的測(cè)量結(jié)果，是十分重要的。測(cè)量基準(zhǔn)是復(fù)現(xiàn)和保存計(jì)量單位并具有規(guī)定計(jì)量單位特性的計(jì)量器具。在幾何量計(jì)量領(lǐng)域內(nèi)，測(cè)量基準(zhǔn)可分為長(zhǎng)度基準(zhǔn)和角度基準(zhǔn)兩類
測(cè)量：是以確定被測(cè)對(duì)象的量值為目的的全部操作。在這一操作過(guò)程中，將被測(cè)對(duì)象與復(fù)現(xiàn)測(cè)量單位的標(biāo)準(zhǔn)量進(jìn)行比較，并以被測(cè)量與單位量的比值及其準(zhǔn)確度表達(dá)測(cè)量結(jié)果。例如用游標(biāo)卡尺對(duì)一軸徑的測(cè)量，就是將被對(duì)象軸的直徑用特定測(cè)量方法用游標(biāo)卡尺測(cè)量與長(zhǎng)度單位毫米相比較。若其比值為30.52，準(zhǔn)確度為±0.03mm，則測(cè)量結(jié)果可表達(dá)為30.52±0.03mm。任何測(cè)量過(guò)程都包含：測(cè)量對(duì)象、計(jì)量單位、測(cè)量方法和測(cè)量誤差等四個(gè)要素。測(cè)高，測(cè)量高差通常用精密水準(zhǔn)儀進(jìn)行。當(dāng)視線短至5～10米時(shí)，測(cè)量高差的精度可以達(dá)到 0.05毫米左右。用帶有機(jī)械測(cè)微裝置的精密水準(zhǔn)器安裝設(shè)備時(shí)，測(cè)量相距不到 1.5米的兩點(diǎn)高差精度，可以達(dá)到0.01毫米左右。用精密的液體靜力水準(zhǔn)儀測(cè)量高差的誤差可減少至幾個(gè)微米。應(yīng)用電子技術(shù)判斷水準(zhǔn)器氣泡居中的精度為0.5。通常用精密經(jīng)緯儀進(jìn)行，以其望遠(yuǎn)鏡的視準(zhǔn)面為基礎(chǔ)，從而測(cè)定目標(biāo)點(diǎn)的橫向偏離值。要求高度時(shí)可用準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡。張緊的弦線也可用作基準(zhǔn)線，并用讀數(shù)顯微鏡測(cè)量設(shè)備部件距離基準(zhǔn)線的垂距。激光束也可作為基準(zhǔn)線，有時(shí)使激光束經(jīng)菲涅耳波帶板干涉形成光點(diǎn)或亮十字絲像，配合光電接收靶進(jìn)行準(zhǔn)直測(cè)量，如果激光束在真空管道中傳輸，則波帶板準(zhǔn)直法精度可以達(dá)準(zhǔn)直長(zhǎng)度的10的-7次方數(shù)量級(jí)。
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