光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強(qiáng)，圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級耐磨塑
3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型pf發(fā)泡塑膠板。
4、高1效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
1.選擇經(jīng)過培訓(xùn)的施工隊伍
潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等，施工人員須對潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工有全1面認(rèn)識，否則，施工很難得到保障。
2.潔凈室內(nèi)密封控制重點
潔凈室內(nèi)密封控制重點內(nèi)容是圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封施工，如板材與板材之間應(yīng)均勻涂密封膠，達(dá)到嚴(yán)密不漏風(fēng);潔凈室內(nèi)的嵌壁器械柜與墻體之間、壁板上安裝的插座、開關(guān)、煙感探1測器、照明箱體及燈帶、觀片燈等都需要用密封膠進(jìn)行密封，且器械柜中的各種管道和箱體之間也都必須采用-和有效的密封措施。
3.送回風(fēng)管道控制
送回風(fēng)系統(tǒng)管道的密封，是為防止不潔凈的空氣進(jìn)入風(fēng)管，阻止了風(fēng)管內(nèi)受污染的空氣滲透出去，從而可滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度和延長高1效過濾器使用時間。施工中應(yīng)重點控制管道加工、管道施工和設(shè)備的安裝。
一凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)合一的送風(fēng)型式，通常也稱作集中式送風(fēng)型式。此方案的凈化空調(diào)機(jī)組空氣處理機(jī)組 ahu集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，全部的凈化空調(diào)送風(fēng)均在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)進(jìn)行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風(fēng)管道將全部的送風(fēng)輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過設(shè)在潔凈室吊頂上的終端高1效過濾器或高1效過濾器送風(fēng)口過濾后送到潔凈室內(nèi)，來實現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再接回到空調(diào)機(jī)房的凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合后重復(fù)進(jìn)行凈化和熱、濕處理。
此方案又可分為全新風(fēng)送風(fēng)方案直流系統(tǒng)；一次回風(fēng)方案；一、二次回風(fēng)方案和(mau)加(ffu)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風(fēng)型式。這種送風(fēng)方案是當(dāng)前潔凈室-是非單向流潔凈室應(yīng)用廣泛的凈化空調(diào)送風(fēng)方案。這種送風(fēng)方案的系統(tǒng)劃分明確，風(fēng)量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。
但是潔凈度級別較高、送風(fēng)量較大時，存在著空調(diào)機(jī)房占面積大，送、回風(fēng)管體積大占面積和占空間大，送、回風(fēng)管道長，送風(fēng)機(jī)的余壓高，噪音大，風(fēng)量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風(fēng)方案較適用在低級別的非單向流潔凈室的送風(fēng)，遵義潔凈車間，對 5 級以上的單向流潔凈室送風(fēng)就不太經(jīng)濟(jì)合理了。
1. ahu 全新風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案直流系統(tǒng)
全新風(fēng)凈化空調(diào)送風(fēng)方案是用于特殊的不允許回風(fēng)的潔凈室的送風(fēng)方案中。 如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災(zāi)危險等級或工藝過程產(chǎn)生有劇1毒等有害物不允許回風(fēng)的潔凈送風(fēng)系統(tǒng)中。
2.ahu 一次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
一次回風(fēng)的送風(fēng)方案多用在潔凈室內(nèi)的-量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風(fēng)量大于、等于或近于凈化送風(fēng)量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。
3.ahu 一、二次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消，在潔凈室凈化送風(fēng)量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量時，1好采用一、二次回風(fēng)方案，將二次混合點設(shè)計在系統(tǒng)送風(fēng)點上，醫(yī)藥潔凈車間，該方是節(jié)能、1經(jīng)1濟(jì)的送風(fēng)方案。
4.mau+rau 的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了-每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求，就要設(shè)置多個循環(huán)機(jī)組，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量，并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置-的熱、濕處理設(shè)備，用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和-該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短小；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。
此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組mau進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要-每個潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理1好到某潔凈室空氣的機(jī)械露1點上，如果將新風(fēng)熱濕處理點低于潔凈室的機(jī)械露1點作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。 二、凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風(fēng)方案。為了-節(jié)省運(yùn)行時的能耗，光學(xué)潔凈車間，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量通常-小于潔凈室的凈化送風(fēng)量，由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的新風(fēng)機(jī)組(mau)進(jìn)行-的凈化和熱濕處理，而將占總送風(fēng)量 50~90%的-潔凈室潔凈度的凈化送風(fēng)量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機(jī)組進(jìn)行凈化和補(bǔ)充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的 ffu風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組和干盤管來解決潔凈室的潔凈度等級和溫度的微調(diào)節(jié)。
此種凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)相分離的送風(fēng)方案，不僅可節(jié)省運(yùn)行的能耗，而且-減少了空調(diào)機(jī)房面積，省掉了龐大的送、回風(fēng)管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風(fēng)方案又可分為：空調(diào)機(jī)組(ahu)加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(ffu)方案，新風(fēng)機(jī)組mau加循環(huán)機(jī)組rau加ffu方案；新風(fēng)機(jī)組mau加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組ffu加干冷盤管(dc)方案等三種送風(fēng)方案。
1． 空調(diào)機(jī)組 ahu(mau加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組ffu的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負(fù)荷潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負(fù)荷及新風(fēng)的熱、濕負(fù)荷全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的空調(diào)機(jī)組來負(fù)擔(dān)。此時，空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng)，但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于-潔凈室潔凈度等級的凈化送風(fēng)量，它應(yīng)能-潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組ffu將凈化送風(fēng)量就地循環(huán)過濾來-。此方案中應(yīng)該注意的是，ffu 運(yùn)行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機(jī)組來承擔(dān)。此方案更適合用于在大面績非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
2． 新風(fēng)機(jī)組mau加循環(huán)機(jī)組rau加風(fēng)機(jī)過濾器單元ffu凈化空調(diào)送風(fēng)方案，此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了-每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求，就要設(shè)置多個循環(huán)機(jī)組，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量，并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置-的熱、濕處理設(shè)備，用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和-該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短小；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組mau進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要-每個潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理1好到某潔凈室空氣的機(jī)械露1點上，如果將新風(fēng)熱濕處理點低于潔凈室的機(jī)械露1點作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。
當(dāng)多個潔凈室中有若干個 1 級、10 級、100 級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機(jī)組rau的負(fù)擔(dān)和送、回風(fēng)管道的斷面，此時循環(huán)機(jī)組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風(fēng)量，以-潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而占 90％以上的絕大部分送風(fēng)量有設(shè)在潔凈室吊頂上的 ffu 來負(fù)擔(dān)，以-潔凈室的高潔凈度級別。
3． 新風(fēng)機(jī)組mau加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組ffu加干冷盤管(dc)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案是新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到潔凈室熱濕比 線與相對濕度 95%線交點以下，新風(fēng)機(jī)組不僅將本身的濕負(fù)荷去掉，而且還負(fù)擔(dān)潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷，新風(fēng)機(jī)組要-潔凈室所需要的相對濕度。而新風(fēng)機(jī)組熱處理不足部分的干冷負(fù)荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上或夾道內(nèi)的干表冷器來補(bǔ)充。因干表冷器是設(shè)在 ffu 循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，模具潔凈車間，干表冷所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。由新風(fēng)機(jī)組處理過的新風(fēng)用管道以能與 ffu 循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風(fēng)靜壓箱內(nèi)。
ffu 布置在潔凈室的吊頂上，與新風(fēng)混合的循環(huán)風(fēng)經(jīng) ffu 被高1效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以-潔凈室的潔凈度。ffu 的規(guī)格以 1200mm×600mm 和 1200mm×1200mm 居多，其斷面風(fēng)速應(yīng)為***0.45m/s，余壓應(yīng)***120pa，噪聲應(yīng)≤50db(a)為好。
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