組成
● ym系列羅茨泵機組是由油旋片真空泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、油霧過濾器等組合而成，用于生產、研究設備的真空排氣。
用途
● 蒸發鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、光學鍍膜等
● 單晶爐、多晶爐、真空熱處理爐、燒結爐、退火爐、淬火爐等
● 真空干燥、冷凍干燥、檢漏設備及系統、氣體回收系統、液晶注入等
● 冰箱、家用空調、中央空調、節能燈、背光源、自動抽空線、排氣設備等
不同的主真空泵，愛發科濾芯fe201，其前級泵配置各異，分述如下。
(1)蒸汽流泵前級配置
類泵包括油擴散泵、油擴散噴射泵以及增擴泵等。在主泵允許的z大排氣口壓力下，前級泵需將主泵產生的z---體量及時抽走，龍門愛發科濾芯，即前級泵的有效抽速必須滿足：
sq>; pg .s/ pn或qmax /pn
式中，sq——前級泵的有效抽速，愛發科濾芯tm-3e，l/s，和選擇高真空泵一樣，先由sq來確定前級泵的抽速，然后再根據該抽速選定泵型;
pn ——主泵前級的臨界前級壓力，pa;
qmax ——所能排出的z---體量，pa .l/s;
pg ——主泵允許的z高工作壓力，pa;
s——主泵工作在pg時的有效抽速，l/s。
在選擇前級泵時，應該注意機械泵的抽速是在---壓力下測得的，但正常使用的泵都是在低于---壓的條件下運轉，使泵的抽速下降了，因而我們必須根據抽速曲線來選擇泵。若沒有抽速曲線，可參考經驗公式
sp =(1.5～3) sp
式中，sp——實際選用的前級泵的抽速;
sp——計算要求的前級泵抽速。
愛發科濾芯按性能特點和用途分類
(1)低真空泵
泵的---壓力高于102pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
---壓力在102~-10-1pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。
(3)高真空泵
限壓力在10-1~10-5pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。
(4)真空泵
---壓力低于10-5pa的真空泵屬于真空泵。真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。
登錄后臺
