超精密加工的發展經歷了三個階段。
20世紀50年代至80年代為技術期。20世紀50年代末，出于航天、等技術發展的需要，美國發展了超精密加工技術，開發了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削技術，又稱為“微英寸技術”，用于加工激光核聚變反射鏡及載人飛船用球面、非球面大型零件等。從1966年起，美國的unioncarbide公司、荷蘭philips公司和美國lawrencelivemorelaboratories陸續推出
各自的超精密金剛石車床，但其應用限于少數大公司與研究單位的試驗研究，并以用途或科學研究用途的產品加工為主。這一時期，金剛石車床主要用于銅、鋁等軟金屬的加工，也可以加工形狀較復雜的工件，但只限于軸對稱形狀的工件例如非球面鏡等。
盡管---代的變化，超精密加工技術不斷更新，加工精度不斷提高，各國之間的研究側重點有所不同，但促進超精密加工發展的因素在本質上是相同的。這些因素可歸結如下。
對產品高---性的追求。對軸承等一邊承受載荷一邊做相對運動的零件，降低表面粗糙度可---零件的耐磨損性，提高其工作穩定性、延長使用壽命。高速高精密軸承中使用的si3n4。陶瓷球的表面粗糙度要求達到數納米。加工變質層的化學性質活潑，易受腐蝕，所以從提高零件耐腐蝕能力的角度出發，要求加工產生的變質層盡量小。
精密機械加工工藝的作用，主要從三點來說：
一、是指導生產的主要技術文件
機械加工車間生產的計劃、調度，工人的操作，零件的加工檢驗，精密加工，加工成本的核算，都是以工藝規程為依據的。處理生產中的問題，也常以工藝規程作為共同依據。如處理事故，應按工藝規程來確定各有關單位、人員的責任。
二、是生產準備工作的主要依據
車間要生產新零件時，首先要制訂該零件的機械加工工藝規程，再根據工藝規程進行生產準備。如：新零件加工工藝中的關鍵工序的分析研究；準備所需的刀、夾、量具；原材料及毛坯的采購或制造；新設備的購置或舊設備改裝等，均必須根據工藝來進行。
三、是新建機械制造廠的基本技術文件
新建批量或大批量機械加工車間時，應根據工藝規程確定所需機床的種類和數量以及在車間的布置，再由此確定車間的面積大小、動力和吊裝設備配置以及所需工人的工種、技術等級、數量等。
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