擴散泵：以低壓高速蒸氣流(油、蒸氣)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種進口真空泵適于在分子流狀態下工作。可分為：
自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。
分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴，惠城羅茨泵，而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。
擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。
明勝真空科技舉例說明，用熱偶真空計測出是2×10-2托((65格)(1托=133pa)，用壓縮式真空計測可能是5×10-4托，恰與泵標牌上的指標一致。當維修該泵時，若用熱偶真空計測試出真空度低于2×10-2托，例如只有40格以下((4×10-2托)，則可認為該泵真空度偏低了，應當加以適當的修理，德國進口羅茨泵，調試。若該泵沒有記下原始數據，則可以大致認為低于50格即應加以修理。自然，進口真空泵是否需修主要決定于生產實際的需要和可能條件。
進口真空泵試抽測的具體方法、步驟如下:
1、清擦干凈該泵所有部分，去除油污、臟物。取下皮帶，用倒順開關試馬達正反轉，使其轉向與泵輪所標箭頭方向一致。若泵輪無標記，可用手掌壓住泵進氣口，以另一手盤動皮帶輪，感到向內有吸力時皮帶輪的轉動方向即為正確方向，作好標記。然后上好皮帶.開泵前在泵進氣口接入測試裝置。通常用真空橡皮管一端插入一支熱偶規管，進口羅茨泵保養，一端插入待測泵進氣口。在這之前，在橡皮管口上應抹少許蓖麻油使其潤滑，便于插拔。橡皮管上夾上鐵夾子(如用金屬管道相接，進口羅茨泵維修，則用法蘭盤接于泵口，另一端需用金屬玻璃封接接入規管或用規管接頭，管道中間應有放氣閥)。先用手盤動皮帶輪數圈，若無大的阻礙，則可斷續啟動馬達。使泵正常運轉。
2、檢查泵的運轉情況:聽泵音有無雜音、異常音;看出氣口閥門片跳動如何？油是否達油標中心，有否漏油、漏氣、漏水；檢查泵腔外表有無變形等，逐一作好記錄。
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