真空泵使用壽命不長主要是因為沒有正確的使用和日常沒有注重保養的習慣。
1真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的---真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmhg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmhg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmhg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmhg為好。
3真空泵在其工作壓強下,進口羅茨泵保養,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有---的抽速,但不能抽---,而三極型濺射離子泵,或二極型非對稱陰極濺射離子泵對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在---壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于---壓,福田羅茨泵,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
萊寶的sogevac系列單級油封旋片泵的主要技術參數為:
抽速:10m3/h~1400m3/h
---真空度:
sv10b,sv16b,sv25b,sv40b,sv65b,sv100b---真空度為
<0.5mbar (無氣鎮分壓強)
<1.5mbar (帶氣鎮分壓強)
sv200,sv300,sv500,sv630/b/bf,sv750/b,sv1200,德國進口羅茨泵,sv1400的---真空度為
<8×10-2mbar (無氣鎮分壓強)
<7×10-1mbar (帶氣鎮分壓強)
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時
歐瑞康萊寶的sogevac系列單級油封旋片泵的主要特點有:
1、的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環使用,無油煙,清潔、、省油。
3、可以在進口壓力為---壓的情況下連續工作。
4、在低壓強下仍能保持高的抽速。
5、內置自動防返油閥。
6、sv630以下為風冷,不需要水冷,經濟方便。
7、低噪音,低振動。
8、結構緊湊,體型小,進口萊寶羅茨泵維修,節省空間。
真空系統中配置的閥門和管道,應使系統抽氣時間短,使用方便,。一般在有一個蒸氣流泵作為主泵(擴散泵或油增壓泵);和一個機械泵作為前級泵的系統上,除了有前級管道(蒸氣流泵串聯機械泵的管道)外,還應有一個預真空管道(真空室直通機械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設有高真空閥門(也稱主閥),在前級管道上設有前級管道閥(也叫低真空閥);在預真空管道上設置預真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門,通常不能在閥蓋下為真空狀態,而閥蓋上為---壓狀態下開閥,這要通過電氣聯鎖---安全。前級管道閥和預真空管道閥要考慮到閥本身能在---壓下開閥。