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造成真空不足的原因很多：主要為葉片磨損、缸體磨損以及密封性能降低。同時吸入氣體溫度太高也會造成真空不足，因此在工藝溫度---的情況下需加裝冷卻裝置來冷卻吸入氣體。將油箱蓋上的加油螺塞旋下，將真空油灌入油箱，油量到油標中線為止。平時真空泵油的選用也會造成真空不足的現象發生，如真空泵油不好，造成乳化導致葉片不能進行正常做離心運動而導致真空度下降。噪音大是很多用戶經常碰到的問題點，這主要是由于泵浦內部發生碰撞發生的，比如葉片與缸體碰撞，軸承位變形導致軸芯晃動，以及內部螺絲松動都會造成噪音大的問題。
旋片式真空泵故障原因：主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，從而導致漏油。檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。解決辦法：更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊，維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以保持油箱的清潔。
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