無塵室內該如何防止微粒子污染呢?應遵守下列基本原則:不攜入,在無塵室內不攜入微粒子的方法有:1作業員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理; 2進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 3通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。 4機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。5無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
凈化室工程共包含下列功用室:主實驗室:該實驗室為主體實驗室,無塵凈化室,規劃的凈化等級為三十萬級—十萬級。更衣室:該實驗室用于放置更衣柜,進主實驗室之前的替換衣服和鞋運用。緩沖室:該實驗室為icp儀器室的一個緩沖室,用作隔離實驗室外部的塵土充滿到儀器室內。風淋室:思考更高凈化等級的請求,關于本實驗室的實際請求,能夠不選用。