渦旋真空泵的主要性能表征參數
5.1.1間隙大小
間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設計精度、加工精度和
裝配精度進行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以
由式((2.11)計算得到，即
e二，*r，-2* a * r.-r (5.1)
5.1.2抽氣速率
理論抽氣速率sth是由泵的幾何尺寸、轉速和是否是雙側渦旋共同決定的一
個反映抽氣性能的參數，也叫幾何抽速。假設轉速為n(轉/秒)，并且該禍旋泵
為雙側渦旋，那么sth可表達為下式:
s1，=2仇、---ol卜(5.2)
其中vii， vo;分別為轉子和定子所形成的外層完整內壓縮腔和外層完整外壓
縮腔的容積。、
實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄
漏，其實際抽速s要低于理論抽速sth，設p:為吸入口壓力，p:為排氣口壓力，
q。為總泄漏，則〔10)
s*pl=sw*p，司t
則實際抽速為
g
j=j*一下了
r，
(5.3)
5.1.3---壓力
渦旋式無油真空泵的---壓力是指不進入氣體長期運轉，在測試罩內所能達
到的穩定時的低壓力，愛德華羅茨泵維修eh4200，用p。表示。此時泵的實際抽速s=o，令式((5.3)中的實際
抽速s=o，即可得---壓力〔10)
(5.4)
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概述
eh 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于---壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度---。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、co2 激光
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的---性。
eh 泵具有高的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
---的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用---級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可---沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經過優化，可---潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是---技術設備的制造商所需要的。
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