金屬蝕刻的加工過程:
1,金屬蝕刻工藝流程一:
每件金屬鈑,上下兩面,均要干凈,除油,因為任何不潔表面均影響?zhàn)つべN在金屬之-性。
清潔后之金屬兩面再貼上干膜,(photo-resist)(此光反應材料-于某光波段之光線中會塑性化,并產(chǎn)生對無機體溶液如酸液類防蝕作用)。
2,金屬蝕刻流程之二:-
然后,雙面蝕刻金屬鈑需小心夾放于兩層照相負片(光工具)中,而單面蝕刻則需放于光工具之下。利用加壓或抽真空把之夾緊,存放在適當光線中-,此舉令曝露之黏膜塑化,黏膜對化學光(actiniclight)是有反應,惟在黃色光線,反應甚微,-時間長短視乎光源強弱,黏膜劑種類等因素而定。
光工具工藝從用放大倍數(shù)比例繪制圖案草稿開始,把尺寸準確校正,再縮回原比例,此舉為便于控制尺寸精度,根據(jù)圖樣制造一底一面負片,再把金屬鈑牢牢夾于其中,若工件尺寸細小,要求在特定面積金屬鈑上蝕出若干件數(shù)時,可采用重迭排放機把影像重復攝制在負片上。至于上下負片如何-校正影像,便是此工藝之竅門。
3,金屬蝕刻之三:顯影沖洗
影像顯影工作是通過浸滌或涂噴特定顯影劑,顯影劑把-部份之黏膜溶解,剩下塑化部份。
4,金屬蝕刻之四:烘干:顯-之金屬鈑經(jīng)第二次烘干。
5,金屬蝕刻之五:蝕刻 金屬板放入蝕刻機中把顯-露出金屬之部份蝕刻,干膜部份受保護,不獲蝕刻。此工序是整個生產(chǎn)制程是重要的工序之一。
腐蝕劑有多種種類,例如氯化鐵,hf和水之混合物便是應付鋼和合金銅的腐蝕劑,某些金屬是需用堿性的腐蝕劑。
金屬蝕刻的缺陷:當金屬面受蝕刻時,其黏膜邊位置亦會稍微凹陷,故蝕刻出來之剪切邊并不是百分一百垂直的。所以蝕刻后之尺寸是跟影像尺寸略有些微差別,-尺寸縮而內(nèi)圍尺寸擴大,內(nèi)尖角位置是會變成小圓角,這些毛病是要經(jīng)過矯正后方后達至預期之精密度,另外矯正尺寸變化亦可在預留圖案草稿中進行。當然,重要因素還是倚靠累積經(jīng)驗,才能控制準確精密度。
6,金屬蝕刻工藝流程之六:剝脫、清洗、曬干
清除蝕刻后鋼片上的干膜,清洗再烘干,整個蝕刻工藝流程完成!
興之揚腐蝕不銹鋼網(wǎng)片小編給大家介紹什么是濕式蝕刻技術(shù):
早期的蝕刻技術(shù)是利用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反應來除薄膜未被光阻覆蓋的部分,而達到蝕刻的目的,這種蝕刻方式也就是所謂的濕式蝕刻。因為濕式蝕刻是利用化學反應來進行薄膜的去除,而化學反應本身不具方向性,因此濕式蝕刻過程為等向性,一般而言此方式不-定義3微米以下的線寬,但對于3微米以上的線寬定義濕式蝕刻仍然為一可選擇采用的技術(shù)。
濕式蝕刻之所以在微電子制作過程中被廣泛的采用乃由于其具有低成本、高-性、高產(chǎn)能及-的蝕刻選擇比等優(yōu)點。但相對于干式蝕刻,除了無-義較細的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點:1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水;2)化學-處理時人員所遭遇的安全問題;3)光阻附著性問題;4)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻。
興之揚蝕刻電視304不銹鋼網(wǎng)小編給大家介紹腐蝕疲勞是什么?
腐蝕疲勞是在腐蝕介質(zhì)與循環(huán)應力的聯(lián)合作用下產(chǎn)生的。這種由于腐蝕介質(zhì)而引起的抗腐蝕疲勞性能的降低,稱為腐蝕疲勞。疲勞破壞的應力值低于屈服點,在一定的臨界循環(huán)應力值疲勞-或稱疲勞壽命以上時,才會發(fā)生疲勞破壞。而腐蝕疲勞卻可能在很低的應力條件下就發(fā)生破斷,因而它是很危險的. 影響材料腐蝕疲勞的因素主要有應力交變速度、介質(zhì)溫度、介質(zhì)成分、材料尺寸、加工和熱處理等。增加載荷循環(huán)速度、降低介質(zhì)的ph值或升高介質(zhì)的溫度,都會使腐蝕疲勞強度下降。材料表面的損傷或較低的粗糙度所產(chǎn)生的應力集中,會使疲勞-下降,從而也會降低疲勞強度。