化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (cvd) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用---之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能---粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以---泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要---可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 cvd 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以---避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中---、產生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理，愛德華羅茨泵維修eh4200，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
edward真空泵油概述： 提供一系列新型油：ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產。大多數制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用的濕法處理制程生產。這一制程不會產生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質的清潔基料。
加入添加劑后，福田羅茨泵維修，ultragrade? 油可---真空性能、熱穩定性和氧化穩定性，愛德華羅茨泵維修eh1200，不易生銹。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，愛德華螺桿泵維修ih1000，從而延長換油時間間隔。特性與優勢： 加入添加劑后，ultragrade? 油可---真空性能、熱穩定性和氧化穩定性，不易生銹。
油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。
這些油所具備的以上特性使其適用于多種應用。
真空泵抽氣量不足的原因及解決方法是什么？
看看進氣口和排氣口是否接錯了，三相泵的話看看是不是電機反轉了。如果真空泵電機還是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因還是有所區別的，不能一概而論。
真空泵抽氣量不足的故障原因：
泵的轉速低于規定轉速。
葉輪與端蓋的間隙過大。
填料室密封漏氣。
吸入管道漏氣。
供水不組。
水環溫度過高。
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