化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (cvd) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用---之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能---粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，愛德華螺桿泵維修ih1800，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，園洲羅茨泵維修，以---泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要---可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 cvd 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以---避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
使用真空泵機組時需要注意什么?
1、在蒸餾系統和真空泵機組之間，必須裝有吸收裝置。
2、蒸餾前必須用水泵抽去系統中溶劑的蒸氣。
3、如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，愛德華螺桿泵維修ih1000，如蒸餾物質中含有揮發性物質，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。
4、真空泵機組腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。
5、減壓系統必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
真空泵轉子與靜止件軸向摩擦的振動機理
理論研究和試驗表明，轉子與精致件發生軸向摩擦時，真空泵轉子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦時，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數。
真空泵軸向干摩擦力與旋轉速度有關，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉子與靜止間的干摩擦因數和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦
阻尼，由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的---增加，因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。
另外，摩擦會造成成功耗上升和效率下降，同時局部會有溫升，因此工藝參數對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要
登錄后臺
