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人類社會的存在,科學技術的進步和發展,已成為21世紀首要的戰略儲備物資,且與各國的---經濟和社會發展有著息息相關的緊密聯系,在已知的傳統產業和應用領域中,高純材料、合金、各種深加工的制品半成品及化學制品,已被廣泛應用到冶金鋼鐵,石油化工,有機化工,銅陵-線材,化工,電子電器,汽車制造,-線材廠家,光學玻璃,玻璃纖維。
眾所周知,-線材工藝,靶材材料的技術發展趨勢與下游應用產業的薄膜技術發展趨勢息息相關,隨著應用產業在薄膜產品或元件上的技術改進,靶材技術也應隨之變化。如ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發,預計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,-線材價格,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發將刻不容緩。另外,近年來平面顯示器fpd大幅度取代原以陰極射線管crt為主的電腦顯示器及電視機市場.亦將大幅增加ito靶材的技術與市場需求。此外在存儲技術方面。高密度、大容量硬盤,高密度的可擦寫光盤的需求持續增加.這些均導致應用產業對靶材的需求發生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應用領域,以及這些領域靶材發展的趨勢。
超純金屬的制備有化學提純法如精餾---是金屬氯化物的精餾及氫還原、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區熔提純等見硅、鍺、鋁、銦。其中以區熔提純或區熔提純與其他方法相 結合有效。
由于容器與藥劑中雜質的污染,使得到的金屬純度受到一定的---,只有用化學方法將金屬提純到一定純度之后,再用物理方法如區熔提純,才能將金屬純度提到一個新的高度。可以用半導體材料鍺及超純金屬鋁為例說明典型的超純金屬制備及檢測的原理見區域熔煉。
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