(1)內部的密封結構
當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2),位于隔熱板的上方:檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到-震動,此處容易造成密封膠開裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將-源吹散至各個密封環節,造成定位不準確。噴吹時,要嚴格控制-源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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-質譜檢漏儀原理的-質譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內;
2.檢測的介質比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數據;
5.自動生成數據保存,可追溯數據來源。
-質譜檢漏儀進展的集中體現在如下幾個方面:
1便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
2高壓強下檢漏:檢漏口壓強可-數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
3自動化程度高:自動校準-峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4全無油的干式檢漏:有些生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
5檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,范圍很寬,不僅可檢測-氣,而且能檢測其它氣體。
-質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法,含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。-質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射-氣5~10s后,檢漏儀就發生響應,對于如此龐大的真空系統,其反應是相當的靈敏。
檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上-氣在真空系統中的傳遞時間,即為兩次噴-的較小間隔時間,當然真空系統越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據實測經驗,兩次噴-的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴-后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴-。
清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對-的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者-,在測試到數量級為10-9p a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數量級為10-8p a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數量級為10-7pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。
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