氣管連接端口應緊固,法蘭不得錯位安裝,插入式連接應牢固牢固。對于連接的管道,檢查管道是否平直和調整是關鍵的一步。安裝后風道布置美觀,支架及風道不得傾斜。管道、管件的可拆卸接口和調節機構應安裝在便于操作的位置,不得安裝在墻壁或地板上;與風管連接的氣閥部件應單獨支撐和固定。防火擋板的易熔片應安裝在迎風一側;防火門與墻體之間的距離不得超過200mm。
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1一般排氣:其來源于機臺運轉-產生不含-或是高溫氣體,但考慮無塵室空調負荷與過濾裝置負荷,因此將廢氣以一般風車抽至---排放至---環境而不需處理。
2酸堿性排氣:其主要來源于化學清洗工作站,清洗晶片時所產生之揮發性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對-有---性作用有害人體,故必須經過水洗中和處理,鐵皮通風管加工,再由風機排入---。
為了便于風道就位,白鐵皮通風管加工,一般多采用將風道吊在腳手架上,復合通風管加工,然后再將其抬放在風道支架上的方法。腳手架應沿其風道長度方向搭設,高度和位置應適合施工操作,吊裝順序應先干管后支、立管,
吊起時,吊點應牢固,兩吊點應均勻受力。垂直風管可采用人工和大繩輔助就位。調整風管---垂直度要求。
風道調直:就位在支架上的風道,應撥正位置,調整風道橫平豎直,然后再按圖集要求固定。