---質(zhì)譜檢漏法是利用---質(zhì)譜檢漏儀的---分壓力測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)被檢件的---泄漏量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體---氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，泄漏出來(lái)的氣體進(jìn)入---質(zhì)譜檢漏儀后，由于---質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給出氣體中的---氣分壓力信號(hào)值。在獲得---氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)---泄漏量。
根據(jù)檢漏過(guò)程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關(guān)系不同，可以將---質(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結(jié)了這四種---質(zhì)譜檢漏法的檢測(cè)原理、優(yōu)缺點(diǎn)及檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)。
真空法---質(zhì)譜檢漏
采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用---罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施---氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，---氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入---質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空---罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹---氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空---罩法采用有一定密閉功能的---罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充滿一定濃度的---氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。
1電子行業(yè)
微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、---起博器。
2真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)
管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機(jī)、薄膜真空計(jì)。
3核工業(yè)
-分離裝置、存儲(chǔ)裝置、核發(fā)電裝置。
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(1) 漏率校準(zhǔn) 校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成
校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的---質(zhì)譜檢漏儀組成。
示值誤差
通電預(yù)熱，待---質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)完成后，采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)---質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)，將一經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入---質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，運(yùn)行---質(zhì)譜檢漏儀，新能源汽車鋰電池動(dòng)力電池包---測(cè)漏設(shè)備，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的---質(zhì)譜檢漏儀示值，同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測(cè)量三次，計(jì)算---質(zhì)譜檢漏儀示值平均值，從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與---質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后，將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入---質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，得到---質(zhì)譜檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。
如果測(cè)試結(jié)果有較大編差，可以考慮---質(zhì)譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行測(cè)試。
重復(fù)性
測(cè)量重復(fù)性是用實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表征的，本校準(zhǔn)方法采用極差法來(lái)表征重復(fù)性。在示值誤差測(cè)量中，每一標(biāo)準(zhǔn)漏孔用---質(zhì)譜檢漏儀重復(fù)測(cè)量三次，可用公式(2)計(jì)算---質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復(fù)性。
今天和大家分享的是---質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法，如您想了解更多的產(chǎn)品信息，您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢！
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