真空泵轉子與靜止件軸向摩擦的振動機理
理論研究和試驗表明,轉子與精致件發生軸向摩擦時,真空泵轉子的振動特征幾乎與正常狀況一致,沒有明顯的異常特征,所以診斷軸向摩擦時,不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別,必須尋求新的銘感參數。
真空泵軸向干摩擦力與旋轉速度有關,由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降,同時有高頻成分出現,所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉子與靜止間的干摩擦因數和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦
阻尼,由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的---增加,因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。
另外,摩擦會造成成功耗上升和效率下降,同時局部會有溫升,因此工藝參數對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要
概述
eh 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于---壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度---。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、co2 激光
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的---性。
eh 泵具有高的無油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
---的軸封技術,處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用---級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可---沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,愛德華ih真空泵維修,因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經過優化,可---潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是---技術設備的制造商所需要的。
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em 系列泵是結實---的機械油封泵,愛德華真空泵維修rv8,抽速為 0.7 到 275 m3/hr30 到 206 cfm。這些泵結構緊湊,使用時非常安靜,具備---的潤滑回路,---性高,配有各種附件,可以滿足特定的應用需求。 edwards e2m80 油封式旋片真空泵 愛德華真空泵edwards真空泵 旋片泵 油回轉高真空泵 愛德華 e2m80 油封式旋片真空泵 edwards真空泵