化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (cvd) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用-之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，愛德華gv600真空泵維修，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能-粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以-泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，愛德華真空泵維修中心，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要-可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 cvd 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以-避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
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英國edward愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣
而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中-、產生和維
持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體
傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
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