真空泵的使用范圍
由于各種真空泵所具有的工作壓強范圍及起動壓強均有所不同,xd真空泵廠,因此在選用真空泵時必須滿足這些要求。表3-1給出了各種常用真空泵的工作壓強范圍及泵的起動壓強值,以供參用。
表3-1 常用真空泵的工作壓強范圍及起動壓強
真空泵種類 工作壓強范圍pa 起動壓強pa
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水環式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
羅茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
渦輪分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸氣噴射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油擴散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×0.01 <1.3×100000
分子篩吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
濺射離子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
鈦升華泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
---鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
真空泵的---壓強
真空泵的---壓強單位是pa,杭州真空泵,是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規定條件工作,在不引入氣體正常工作的情況下,趨向穩定的壓強。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應,泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。
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