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凈化工程設計-宿州凈化工程-技術|安徽科林爾

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2021-5-29  
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在實際施工中,凈化項目通常分為,分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是,易于進行多塵和無塵的交叉操作,凈化工程施工,應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免,應該防止灰塵和有效清潔。布置工藝的流程盡可能短,凈化工程廠家,減少交叉往復,宿州凈化工程,、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產品工序要求的用室外,還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應在---基本要求前提下,凈化工程設計,與生產規模相適應。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術也在發展之中,在未來對潔凈度的要求高。


設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。一般潔凈室高度控制在2.60米,對個別較高的設備可在局部加高,而不宜提高潔凈區的高度。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。


相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間


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