力敏傳感器是將應(yīng)力、壓力等力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電信號的轉(zhuǎn)換器件，力敏傳感器有電阻式、電容式、電感式、壓電式和電流式等多種形式，半導(dǎo)體壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)是體積小、成本低，缺點(diǎn)是對濕度十分敏感，壓電式力敏傳感器的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，工作溫度范圍寬(-70~250攝氏度)，缺點(diǎn)是成本稍高。
力敏傳感器是用來檢測氣體、固體、液體等物質(zhì)間相互作用力的傳感器，常用材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料，常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器，硅壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)是，靈敏度好、精度高、缺點(diǎn)是受溫度影響大。
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三維力傳感器要測量三個(gè)方向的信號，先確定傳感器中測量的至大值，一般需要選擇一個(gè)具有比至大值還要大1.2倍左右的力量值變送器，這主要是在許多系統(tǒng)中，尤其是水壓測量和加工處理中，有峰值和持續(xù)不規(guī)則的上下波動(dòng)，這種瞬間的峰值能破壞三維力傳感器。
持續(xù)的高壓力值或稍微超出三維力傳感器的標(biāo)定至大值會(huì)縮短沖擊力傳感器的壽命，這樣做還會(huì)使精度下降，于是可以用一個(gè)緩沖器來降低壓力毛刺，可變電阻式張力傳感器，但這樣會(huì)降低傳感器的響應(yīng)速度，所以在選擇傳感器時(shí)要充分考慮壓力范圍、精度與其穩(wěn)定性。
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和傳統(tǒng)的傳感器相比，微型傳感器具有許多新特性，它們能夠彌補(bǔ)傳統(tǒng)傳感器的不足，具有廣泛的應(yīng)用前景，張力傳感器定做，越來越受到重視，傳統(tǒng)的傳感器件因其制作工藝與半導(dǎo)體ic工藝不兼容，制約了整個(gè)系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。
微型傳感器是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng)，使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料，通過mems加工技術(shù)制備的新一代傳感器件，具有小型化、集成化的特點(diǎn)，可以提高傳感器性能，在信號傳輸前就可放大信號，從而減少干擾和傳輸噪音，提高信噪比，在芯片上集成反饋線路和補(bǔ)償線路，張力傳感器定制定做，可---輸出的線性度和頻響特性，降低誤差，提高靈敏度。
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