烘箱選型依據及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內的均勻性、 溫控系統也是要求較高。 烘箱的生產廠家國內和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度考慮， 則把國內生產的烘箱放在首 位， 因為不論是售后服務還是備件購買都會相對容易一些，臺車烘箱， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產生的顆粒度。
真空烘箱的安裝與調試
1、運輸中注意不要在玻璃上用力，也不要碰撞箱體。
2、真空干燥箱落地后，應放置平穩如地面不平-以修正。
3、請不要再陽光直射或高溫潮濕的地方使用儀器。
4、真空干燥箱應遠離電磁干擾源，并將設備的接地線有效接地。
5、真空干燥箱在正常運行時，箱內物品擺放應不要碰到內壁。
6、 電源線不要緊靠后面，也不要讓儀器或其他物品壓在電源線上，以免損傷電源線。
真空烘箱使用流程
1、將物料均勻放入真空烘箱附帶的烘箱內，溫州烘箱，將烘盤插入烘架車中，推入干燥箱內。 2、如果采用蒸氣加熱或水加熱的方式，則需用快接將烘架車(上下口)的兩個加熱口，與水或蒸氣的所口接好。 3、關緊箱門，放氣閥，箱門上有螺栓，粉料烘箱，可使箱門與硅膠密封條緊密結合。 4、將真空泵與真空閥連接，開啟真空閥，抽真空。 5、依據真空泵的性能，抽到壓力表為真空泵的---值為準。 6、抽完真空后，先將真空閥門關閉，如果真空閥門關不緊，請更換，然后再將真空泵電源關閉或移除。(防止倒吸現象產生) 7、本所物料的干燥周期，每隔一段時間觀察一下，歷力表，溫度表，和箱體內的變化，來處理。如果壓力表指數下降，則可能存在漏氣現象，可再進行抽氣操作。 8、干燥完成后，先將放氣閥打開，油漆烘箱，放出里面氣體，再進行打開烘門，取出物料
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