清潔室內用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外,尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質或發塵者為基本條件,且其布料為不燃、不起毛,其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質,另外經過摩擦不產生靜電或帶電性非常,洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙或無纖紙制成,帽子材質則與潔凈衣同,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛或臉表---分外,其他部分均須包覆,在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住,不能留有空隙,頭發亦不能露出來。
無塵室主要之作用在于控制產品如硅芯片等所接觸之---的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個---之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的a。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于a,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1k級別。
所謂無塵并非沒有一點灰塵,無塵室設備搬遷移位注意事項,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。