式螺桿真空泵：它是一種不用油類或液體密封的變?nèi)菡婵毡谩?/p>
液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體通常為水或油拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，蘇州真空泵銷售，故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?/p>
羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩C械增壓泵即為這種形式的真空泵。
噴射真空泵：它是利用文丘里venturi效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，愛德華e2m175真空泵銷售，適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種： 液體噴射真空泵：以液體通常為水為工作介質(zhì)的噴射真空泵。 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵
分子泵
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，愛德華e2m30真空泵銷售，尤其是濺射、刻蝕和lcvd等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，愛德華e2m40真空泵銷售，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又-了膜層。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
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