在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵,才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求,同時又能夠長期穩定的運行,延長真空泵維修維保時間,節約運行成本,-生產設備的生產效率,-設備產能。
在cvd、pecvd、ald等工藝中,真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產品表面薄膜工藝,這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶,雙級節能真空泵,如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外,就容易在真空泵內沉積,堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉子等卡滯,需要及時下機保養和維護,否則的話就會造成真空泵的的損壞,但是干式泵的維護成本又比較昂貴,選擇一臺耐粉塵,維保周期長的真空泵是非常重要的。
無油真空泵在購買時需要注意什么呢?一般我們在購買的時候不怎么注意無油真空泵的選型,但是這往往會導致后期會產生各種麻煩等等。所以下面我們就來詳細介紹下在選擇無油真空泵時需要注意什么。
1、無油真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的-真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度,選用的無油真空泵的-真空度至少要2mmhg,能達到1mmhg。通常選擇泵的-真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
2、正確地選擇無油真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2bv系列水環無油真空泵工作壓強范圍760mmhg~25mmhg絕壓,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化詳細變化情況參照泵的性能曲線,其穩定的工作壓強范圍為760~60mmhg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。
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水環真空泵又名液環式真空泵是市面上粗真空應用范圍內較為廣泛的真空泵,雙級節能真空泵售價,液環泵在使用過程中經常出現真空泵達不到使用要求,像這樣的情況基本上科歸類為一下幾點:
1、真空泵循環水水溫,雙級節能真空泵服務公司,溫度過高,
2、管道布局不合理,雙級節能真空泵,泄露、直角彎頭。
3、排液管道布局不合理,管道長,背壓大